半导体展NEPCON|技术巨擘背后的科学：半导体制造流程详解

 

半导体制造是现代微电子技术的核心，涉及一系列精细、复杂的工艺步骤。下面我们将详细解析半导体制造的八大关键步骤。今天就由半导体展NEPCON小编为你解读更多行业新趋势。

 

1、硅片制备

 

制造半导体的基础材料是硅。原始的硅先需要通过化学和物理过程被提纯，然后被熔化并生长成大型的单晶体硅棒。这些硅棒随后被切割成薄片，这些薄片就是我们所说的硅片，它们是后续制造过程的起点。

 

2、氧化

 

硅片经过清洁后，会被放在一个高温的炉中，与氧气反应，形成一层硅二氧化物（SiO2）。这层氧化层不仅作为缘层，还在后续的工艺步骤中作为刻蚀和掩模的屏障。

 

3、光刻

 

光刻是在硅片上转移预先设计的图案的过程。这是通过将光敏的化学物质（称为光刻胶）涂在硅片上，然后使用紫外线光源和掩模（一个带有预先设计的图案的透明模板）来曝光光刻胶。经过曝光后，部分光刻胶的性质发生变化，这使得未曝光的部分可以通过化学液体被溶解掉，留下一个与掩模图案相匹配的模式。

 

4、刻蚀

 

刻蚀是去除那些不需要的材料的过程。根据预先设计的图案，刻蚀液或刻蚀气体会从硅片上去除不需要的材料，例如氧化硅、金属或半导体。这样，可以在硅片上留下所需的图案。

 

5、离子注入

 

为了改变硅的导电性质，需要在其内部引入杂质原子，这一过程称为掺杂。离子注入是掺杂的一种方法，它使用高能的离子加速器将杂质原子射入硅片的表面。经过掺杂的区域的导电性会发生改变。

 

6、化学气相沉积（CVD）

 

CVD是一种用于在硅片表面上制造薄薄的一层材料的方法。在这个过程中，化学前体气体被引入到高温的反应室中，在硅片表面上发生反应，形成所需的薄膜材料。

 

7、物理气相沉积（PVD）

 

PVD与CVD类似，也是一种沉积薄膜的方法。但是，PVD使用物理过程，如溅射或蒸发，将薄膜材料沉积到硅片上。

 

8、退火

 

退火是一个加热过程，用于修复制造过程中造成的晶体缺陷，或激活前面步骤中注入的杂质原子。在高温下，硅片中的原子会移动，晶体缺陷得到修复，注入的杂质原子获得激活。

 

以上八个步骤只是半导体制造中的一个简化概述。实际的制造过程可能包括更多的步骤和细节，具体取决于要制造的器件和技术规范。随着科技的进步，半导体制造过程和工艺也在不断地发展和完善。

 

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文章来源：真空回流焊中科同志